仪器特点
● 尺寸：包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径
● 夹角：包含水平角、垂直角、夹角
● 位置公差：包含平行度、垂直度
● 形状公差：包含直线度、凸度、圆弧轮廓度
● 辅助生成：包含辅助点、辅助线、辅助圆
规格参数
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型号 |
LZX-MD100 |
LZX-MD150 |
LZX-MD200 |
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测量范围(㎜) |
项目 |
参数 |
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X轴驱动器 ZI（传感器） 粗糙度和轮廓共用 立柱高速 |
100 ±20 450 |
150 ±25 400 |
200 ±30 450 |
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指示精度 |
X轴（L=X轴移动导轨距离） ZI轴（H=ZI轴方向测量高度） 残值轮廓 示值误差 示值稳定性 重复性 角度 圆弧（R=标准圆弧值） 粗糙度测量值 |
±(0.7+0.01L)μm ±(0.7+0.02H)μm ≤0.005μm ≤±(5mm+0.05) ≤±5% 1δ≤2nm ≤±1 ≤±(0.7+R/12)μm 0.005μm |
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X轴驱动器 |
直线度 分辨率 |
0.8μm /100mm 0.05μm |
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ZI传感器轮廓粗糙度共用 |
类型 分辨率 轮廓粗糙度共用测 针测针材质 粗糙度测针 测针材质 |
光栅传感器 0.05μm 25μm 12° 硬质合金 2μm 60° 金刚石 |
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评定长度 |
λc×1、2、3、4、5、6、7 |
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截止波长 |
0.025、0.07、0.25、0.8、2.5、 |
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测量方式 |
传感器移动 |
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运动控制 |
导轨速度 立柱移动 测量速度 |
0.02mm至6mm/s 0.1mm至10mm/s 0.02mm至5.0mm/s |
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